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EBARA荏原真空泵維修
EBARA ESR系列 真空泵維修
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產品名稱:
EBARA ESR系列 真空泵維修
產品型號:
ESR100WN
產品展商:
EBARA真空泵維修
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簡單介紹
蘇州曼特萊精密電子有限公司提供EBARA ESR100WN
真空泵維修
以及各類
進口真空泵維修
。配件確保原裝進口，物美價廉。
EBARA ESR系列 真空泵維修
的詳細介紹
ESR
系列是新研發的應用廣泛的羅桿式干式真空泵，對于
L/L
，
SEM
等較輕負荷的制程和
腐蝕性制程都可以使用。
性能上具有排氣速度可調節，高通信處理功能，從而適應了省功
耗，占地面積小，重量輕的工藝要求。
特點
:
●
*適合用于
輕負
荷的制程及腐
蝕
性氣體制程
●
較
低的運行成本，省功耗，*大可
節
省
60%
（與本公司
AA
系列相比
較
）
●
無需
N2
來做
軸
密封（
ESR20N
）
●
小型化，重量
輕
，*大減少
40%
（與本公司
AA
系列相比
較
）
●
增加
泵
的
轉
速控制
●
高性能的通信機能
●
采用高度控制
泵
的運
轉
方
式
ESR Series
Specifications
Unit
ESR20N
ESR80WN
ESR200WN
ESR300WN
Pumping Speed
50/60 Hz
抽氣速度
CFM
46 - 71
141 - 300
353 - 706
1059
L/min
1300 - 2000
4,000 - 8,500
10,000 - 20,000
30,000
M3/Hr
78 - 120
240 - 510
600 - 1,200
1,800
Ultimate Pressure
50/60 Hz
底
壓
mTorr
5
1.5
1
1.5
Pa
0.67
0.2
0.13
0.2
mBar
0.0067
0.002
0.0013
0.002
Connection
接口
Gas Inlet
NW 40
NW 50
ISO100
NW 100
Gas Outlet
NW 40
NW 40
NW 40
NW 40
Power at Ultimate Pressure
到達底
壓時的功率
KW
0.55 - 0.70
0.8 - 1.9
0.8 - 1.1
2.9
Maximum Power
*大功率
KW
2.5
4.5
5
7.5
Cooling Water Requirements
冷卻水要求
Min. Flow Rate
2
2
2
3.5
L/min
Bearing and Dilution N2
隔離和稀
釋
N2
Bearing Seals
0 to 12
2 to 12
2 to 12
2 to 12
L/min
Cabinet Dimensions
inches
25 x 11 x 12.6
26 x 15 x 25.8
31.1 x 15 x 25.8
33 x 19 x 35
LxWxH
外型尺寸
mm
635 x 280 x 320
660 x 380 x 655
790 x 380 x 644
(825 x 460 x 880)
Weight
重量
lbs
200
400
520
860
kg
90
180
250
390
產品名稱：EBARA ESR100WN
真空泵維修
蘇州曼特萊精密電子有限公司主營：
一、
進口真空泵維修
：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
5、EBARA(荏原)：ESA系列、ESR系列、EST系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列，EBARA ESR100WN真空泵維修等
6、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
7、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
8、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
9、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
10、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
11、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵專用維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(荏原)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS專用真空油、ADIXEN專用真空油等。
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真空泵維修
EDWARDS 愛德華真空泵維修
ALCATEL 阿爾卡特真空泵維修
LEYBOLD萊寶真空泵維修
貝克(BECKER)真空泵維修
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